国产高能离子注入机首次通过晶圆厂验证

，万业企业今日在上证 E 互动平台回复投资者，公司旗下凯世通的高能离子注入机设备已顺利通过客户验证并完成验收这是国产高能离子注入机首次通过晶圆厂验证

本站了解到，离子注入机是芯片制造中的关键装备在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入机即是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备

高能离子注入机是离子注入机中技术难度最大的机型长久以来，因其极大的研发难度和较高的行业竞争壁垒，被称为离子注入机领域的珠穆朗玛峰，是我国集成电路制造装备产业链上亟待攻克的关键一环

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